[實用新型]玻璃基板厚度測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201621189247.3
• 申請日: 2016-10-31
• 公開（公告）號: CN206300629U
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發(fā)明（設計）人: 吳軍;蘇記華;王展;王陸鈺;吳宏斌;沈先良;嚴雷
• 申請（專利權）人: 鄭州旭飛光電科技有限公司;東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08
• 代理公司: 北京英創(chuàng)嘉友知識產權代理事務所(普通合伙)11447
• 代理人: 陳慶超,桑傳標

技術領域

本公開涉及玻璃基板厚度測量技術領域，具體地，涉及一種玻璃基板厚度測量裝置。

背景技術

在玻璃基板制程中，玻璃基板厚度測量為工藝調整提供依據，當玻璃基板厚度超差時，工藝人員根據厚度測量儀測得的數據做出相應的調整將厚度調整到用戶允許范圍，滿足用戶的要求；現有技術中對玻璃基板厚度的測量多采用垂直吊裝結合測厚傳感器來實現，但是由于不同品種的玻璃基板的板長是不同的，無法實現使用一個測量裝置測量不同品種的玻璃基板的厚度。

實用新型內容

本公開的目的是提供一種玻璃基板厚度測量裝置，該測量裝置能夠解決玻璃基板在制程中生產不同板長尺寸品種時測厚裝置無法匹配的技術問題。

為了實現上述目的，本公開提供一種玻璃基板厚度測量裝置，該測量裝置包括：第一夾持部，用于將所述玻璃基板的上邊緣夾持在傳送機構上；測量平臺，該測量平臺上設置有用于夾持所述玻璃基板的下邊緣的第二夾持部，以及用于檢測玻璃基板厚度的測厚傳感器；所述測量平臺包括底座和臺架，以及設置在所述臺架和底座之間的高度調節(jié)機構，所述臺架上設置有所述第二夾持部和所述測厚傳感器，所述高度調節(jié)機構用于驅動所述臺架沿縱向接近或遠離所述第一夾持部。

可選地，所述高度調節(jié)機構為絲杠螺母調節(jié)結構，該絲杠螺母調節(jié)結構包括設置在所述臺架上的螺母、設置在所述底座上的絲杠，以及驅動所述絲杠轉動的驅動機構，所述絲杠沿縱向延伸。

可選地，所述驅動機構包括水平延伸的轉軸和連接在該轉軸與所述絲杠之間的傳動機構，所述轉軸的外端設置有調節(jié)輪盤。

可選地，所述傳動機構為減速箱，所述轉軸為所述減速箱的輸入軸，所述減速箱的輸出軸連接所述絲杠。

可選地，所述輸入軸上可轉動地套設在多個軸承座上，多個所述軸承座上安裝有鎖緊輪盤。

可選地，所述底座上設置有用于測量所述臺架當前高度的測量尺。

可選地，所述測量尺為豎直布置的游標尺，所述臺架上的設置有與所述游標卡尺配合使用的指針。

可選地，所述底座上豎直設置有多個導柱，所述臺架上對應地設置有多個可滑動地套設在該導柱上的滑套。

可選地，所述導柱的上端形成有用于限位所述滑套滑脫的限位凸臺。

可選地，所述導柱為四個并呈矩形布置，所述臺架形成為矩形框架，所述滑套為設置在所述矩形框架四角上的滑動軸承。

通過上述技術方案，在高度調節(jié)機構的驅動下，使得測量平臺上下移動，以測量不同尺寸的玻璃基板的厚度，能夠解決玻璃基板在制程中不同品種無法匹配的技術問題。

本公開的其他特征和優(yōu)點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本公開的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本公開，但并不構成對本公開的限制。在附圖中：

圖1是根據本實用新型一個實施方式的玻璃基板厚度測量裝置的結構示意圖。

附圖標記說明

1 底座2 臺架

3 玻璃基板4 第一夾持部

5 傳送機構6 測厚傳感器

7 減速箱8 調節(jié)輪盤

9 軸承座10鎖緊輪盤

11絲杠12測量尺

13指針14導柱

15滑套16限位凸臺

21第二夾持部22螺母

71轉軸

具體實施方式

以下結合附圖對本公開的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本公開，并不用于限制本公開。

在本公開中，在未作相反說明的情況下，使用的方位詞如“上、下”通常是指正常使用狀態(tài)的上和下。