[實用新型]低濕濕度發(fā)生裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201621175953.2
• 申請日: 2016-10-26
• 公開（公告）號: CN206152657U
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉曉麗;丁翔;陳東;王利文;黃蓓
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗研究所
• 主分類號: B01F3/04
• 分類號: B01F3/04
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 周修文

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種水汽發(fā)生裝置，尤其是涉及一種低濕濕度發(fā)生裝置。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的水汽發(fā)生裝置包括分流式濕度發(fā)生器與分壓式濕度發(fā)生器。其中，分流式濕度發(fā)生器是采用干燥的空氣或氮氣作為氣源,用兩臺質(zhì)量流量控制器將這股干燥氣體按不同比例準確地分為兩股,其中一股在一定溫度下通過飽和器增濕,使之成為飽和濕氣(即相對濕度為100％RH),然后在相同的溫度下與另一股干氣混合。通過兩臺質(zhì)量流量計調(diào)節(jié)飽和濕氣和干氣的流量,便可得到不同相對濕度的恒濕氣流。

分壓式濕度發(fā)生器是將干燥的空氣作為氣源，通過壓縮機壓縮空氣后在穩(wěn)定的高壓狀態(tài)下飽和，然后在相同的溫度下膨脹降壓至穩(wěn)定的低壓狀態(tài),即可得到恒濕氣源。其濕度值可根據(jù)飽和室溫度、高壓壓力和低壓壓力而測定。通過改變高壓壓力或改變低壓壓力,就可以得到不同相對濕度的恒濕氣流。

雖然該兩種濕度發(fā)生器可產(chǎn)生相對濕度范圍為(1～98)％RH的恒濕氣流，但是，傳統(tǒng)的分流式或分壓式濕度發(fā)生器均無法產(chǎn)生水汽含量為ppm級(1×10^-6)的低濕水汽。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，本實用新型在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種低濕濕度發(fā)生裝置，它能夠產(chǎn)生水汽體積百分含量為ppm級的低濕水汽。

其技術(shù)方案如下：低濕濕度發(fā)生裝置，包括：壓縮儲氣罐、第一減壓閥與第二減壓閥，所述第一減壓閥與所述第二減壓閥依次設(shè)置在所述壓縮儲氣罐的出氣口相連的管道上；第一輸氣管路與第二輸氣管路，所述第一輸氣管路一端、所述第二輸氣管路一端與所述第二減壓閥的出氣口相連通；水汽飽和器，所述水汽飽和器設(shè)置在所述第一輸氣管路上，所述水汽飽和器用于將所述第一輸氣管路中的氣流加濕處理；及混合容器，所述混合容器與所述第一輸氣管路另一端、所述第二輸氣管路另一端相連通。

在其中一個實施例中，所述第一輸氣管路上設(shè)置有第一流量調(diào)節(jié)閥，所述第二輸氣管路上設(shè)置有第二流量調(diào)節(jié)閥。

在其中一個實施例中，所述低濕濕度發(fā)生裝置還包括設(shè)置在所述第二減壓閥與所述第一輸氣管路、所述第二輸氣管路之間的三通流量調(diào)節(jié)閥，所述第二減壓閥的出氣口通過管道與所述三通流量調(diào)節(jié)閥的進氣口相連，所述三通流量調(diào)節(jié)閥的其中一個出氣口與所述第一輸氣管路相連，所述三通流量調(diào)節(jié)閥的另一個出氣口與所述第二輸氣管路相連。

在其中一個實施例中，所述低濕濕度發(fā)生裝置還包括第一壓力表與第二壓力表，所述第一壓力表、所述第二壓力表設(shè)置在所述壓縮儲氣罐與所述三通流量調(diào)節(jié)閥的進氣口相連的管道上，所述第一壓力表用于檢測所述第一減壓閥出氣端的氣流壓力值，所述第二壓力表用于檢測所述第二減壓閥出氣端的氣流壓力值。

在其中一個實施例中，所述壓縮儲氣罐中裝設(shè)的氣體壓力為5MPa～15Mpa、純度為99.999％的高純氮氣。

在其中一個實施例中，所述低濕濕度發(fā)生裝置還包括計量閥，所述計量閥設(shè)置在所述第一輸氣管路上、并位于所述水汽飽和器與所述混合容器之間，所述計量閥用于對所述第一輸氣管路中的氣流膨脹降壓處理。

在其中一個實施例中，所述第一輸氣管路上設(shè)置有第三壓力表，所述第三壓力表用于檢測所述計量閥出氣端的氣流壓力值。

在其中一個實施例中，所述水汽飽和器包括外殼體與設(shè)置于所述外殼體內(nèi)的多個隔板，所述外殼體的進氣口位于所述外殼體的頂部，所述外殼體的出氣口位于所述外殼體的底部，所述外殼體的進氣口通過管道連接有加水機構(gòu)；所述隔板首尾相連、并呈Z字形設(shè)置，所述隔板靠近所述外殼體進氣口的一端與所述外殼體內(nèi)側(cè)壁相連，所述隔板上布置有若干個通孔。

在其中一個實施例中，相鄰所述隔板之間的夾角為30～70度。

在其中一個實施例中，所述第一輸氣管路以第一方向連通至所述混合容器，所述第二輸氣管路以第二方向連通至所述混合容器，所述第一方向與所述第二方向相對設(shè)置或者交叉設(shè)置。

下面對前述技術(shù)方案的優(yōu)點或原理進行說明：