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[實用新型]一種擴散源瓶溫度控制輔助箱有效

專利信息
申請號: 201621149207.6 申請日: 2016-10-22
公開(公告)號: CN206163509U 公開(公告)日: 2017-05-10
發明(設計)人: 劉飛 申請(專利權)人: 潤峰電力有限公司
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18;H01L21/22
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 272000 山東省*** 國省代碼: 山東;37
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 擴散 溫度 控制 輔助
【說明書】:

技術領域

本實用新型涉及一種能夠方便、簡潔、低成本的源瓶溫度控制輔助裝置。

背景技術

目前,在太陽能電池制造過程中,擴散為核心工藝,三氯氧磷做為作為擴散工藝的消耗化學品,需要定期更換磷源,而且更換后磷源要達到設定工藝溫度才可正常生產,一般等待磷源達到設定溫度需要較長時間,影響生產效率。

發明內容

為解決現有問題,本實用新型提供了一種簡介、低成本的磷源溫度控制輔助裝置,對磷源在更換之前使之到達工藝設置溫度,實現更換后能夠盡快的投入生產,以減少等待時間的浪費。

為實現上述目的,本實用新型采用以下技術方案:一種擴散源瓶溫度控制輔助箱,包括箱體,所述箱體頂板及底板為中空板,所述中空板內盤設有盤管,所述盤管一端設有流量閥,其中頂板中的盤管為冷卻水管,底板中的盤管為熱水管;所述底板的頂面上設置有隔離板,所述隔離板用于承載源瓶;所述箱體底板底端面上設置有墊板;本技術方案的有益效果在于由于在頂部設置冷水管,在底部設置熱水管,充分利用熱空氣上升、冷空氣下降的原理,對箱體內的溫度根據需要進行控制,并且通過設置流量閥控制冷卻水及熱水的進入量,加快箱體內部溫度達到需求,本實用新型同時在箱體內設置隔離板,可有效減少熱氣上升的阻力,并且本實用新型在底板下設置墊板,因此,可極大的便于箱體及箱體內部源瓶的搬運。

優選的,所述箱體設置有活動門,所述活動門外端面設置有把手;本技術方案進一步增加了便捷程度。

優選的,所述箱體兩側的箱體板上設置有通風孔;本實用新型進一步增加了溫度控制的效率。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明,顯而易見下述附圖及具體實施方式僅僅是本技術方案的兩種表現形式,還可依據本技術方案獲得其他具體實施方案。

圖1為本實用新型后側視結構示意圖。

圖2為本實用新型前側視結構示意圖。

圖3為本實用新型剖面結構示意圖。

具體實施方案

如圖1-3所示,一種擴散源瓶溫度控制輔助箱,包括1箱體,所述1箱體2頂板及3底板為中空板,所述中空板內盤設有(4、5)盤管,所述(4、5)盤管一端設有流量閥,其中2頂板中的4盤管為冷卻水管,3底板中的5盤管為熱水管;所述3底板的頂面上設置有6隔離板,所述6隔離板用于承載源瓶;所述1箱體3底板底端面上設置有7墊板。

所述1箱體設置有8活動門,所述8活動門外端面設置有9把手。

所述1箱體兩側的箱體板上設置有10通風孔。

以上顯示和描述了本實用新型的基本結構和主要特性及本實用新型的優點。對實用新型的具體實施方案進行了描述,但并未對本實用新型保護范圍的限制,本行業的技術人員應該了解,上述實施例與說明中描述的只是本實用新型基本的操作步驟,不脫離實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求及其等效物界定。

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