[實(shí)用新型]一種硅片取片器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201621149200.4
• 申請(qǐng)日: 2016-10-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206163508U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陶洲川
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 潤(rùn)峰電力有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種硅片取片器，其特征在于包括呈交叉設(shè)置的X型活動(dòng)支架，X型活動(dòng)支架的連接處通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接，所述X型活動(dòng)支架的一端安裝有彈簧，另一端對(duì)向安裝有半封閉腔，所述半封閉腔內(nèi)安裝有軟墊，所述軟墊與轉(zhuǎn)軸之間的X型活動(dòng)支架內(nèi)端面對(duì)向安裝有限位桿。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片取片器，其特征在于所述軟墊為海綿墊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片取片器，其特征在于所述限位桿為螺桿。