[實用新型]三絲絞合切割鋼線

有效

• 申請號: 201621146640.4
• 申請日: 2016-10-21
• 公開（公告）號: CN206568357U
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發明（設計）人: 蘇振國
• 申請（專利權）人: 蘇州偉益新材料科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B24B27/06;D07B1/06;D07B1/14
• 代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務所(普通合伙)32304
• 代理人: 馬麗麗

技術領域

本申請涉及一種三絲絞合切割鋼線，可用于切割單、多晶硅、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、水晶等貴重金屬和其它硬脆材料。

背景技術

硅片的制造工藝通常包括：生長單晶-滾外圓-切割-倒角-研磨-拋光-激光檢測-外延生長。硅片切割是晶片制造的關鍵工序之一，切割質量不僅影響到后續的研磨、拋光、刻蝕等工序，而且會影響到半導體器件制成品的最終質量和太陽能電池的轉換效率。

切割鋼絲是一種具有高強度、高硬度和高耐磨性特征的精細高碳鋼絲。它是超硬脆晶體材料目前最先進的加工方式多線切割的有效載體。可用于切割單、多晶硅、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、水晶等貴重金屬和其它硬脆材料。

由于目前硅片切割的產能不足，如何提高硅片的切割的效率，減少切割的損耗成為一個非常值得關注的問題，在多絲切割過程中，刀損在所有材料加工損耗中占有較大比例。另外，由于切割時產生的碎屑非常微小，碎屑進入研磨液中后，會降低切割效率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種三絲絞合切割鋼線，以克服現有技術中的不足。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

本申請實施例公開一種三絲絞合切割鋼線，包括沿同一個旋轉方向絞合的三根鋼絲，該三根鋼絲之間圍成一導流通道，至少一根所述鋼絲的表面凹設形成有環形的凹槽，所述凹槽與導流通道之間連通。

優選的，在上述的三絲絞合切割鋼線中，所述環形的凹槽沿軸向陣列分布于所述鋼絲表面。

優選的，在上述的三絲絞合切割鋼線中，至少一根所述鋼絲的表面平行軸向凹設形成有導流槽。

優選的，在上述的三絲絞合切割鋼線中，所述導流槽具有弧形的底面。

優選的，在上述的三絲絞合切割鋼線中，所述導流槽的底面具有潤滑層。

優選的，在上述的三絲絞合切割鋼線中，所述導流槽的深度為10～15μm。

優選的，在上述的三絲絞合切割鋼線中，所述凹槽的底面形成有潤滑層。

優選的，在上述的三絲絞合切割鋼線中，所述導流通道的表面形成有潤滑層。

優選的，在上述的三絲絞合切割鋼線中，所述鋼絲的直徑為120μm，凹槽的深度為8～12μm。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：本新型中，凹槽一方面可以帶動砂漿，另一方面可以將切割產生的微粉、以及多余的砂漿帶入到導流通道中及時排出，提高切割精度和效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1所示為本實用新型具體實施例中三絲絞合切割鋼線的斷面圖；

圖2所示為本實用新型具體實施例中鋼絲的側視圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

結合圖1和圖2所示，三絲絞合切割鋼線，包括沿同一個旋轉方向絞合的三根鋼絲1，該三根鋼絲1之間圍成一導流通道2，至少一根鋼絲1的表面凹設形成有環形的凹槽3，凹槽3與導流通道2之間連通。

該技術方案中，凹槽3一方面可以帶動砂漿，另一方面可以將切割產生的微粉、以及多余的砂漿帶入到導流通道2中及時排出，提高切割精度和效率。

進一步地，環形的凹槽3沿軸向陣列分布于鋼絲1表面。

進一步地，至少一根鋼絲1的表面平行軸向凹設形成有導流槽4。

進一步地，導流槽4具有弧形的底面。

進一步地，導流槽4的底面具有潤滑層。

進一步地，導流槽4的深度為10～15μm。

進一步地，凹槽3的底面形成有潤滑層。

進一步地，導流通道2的表面形成有潤滑層。

該技術方案中，通過潤滑層，更利于切割粉末和砂漿的快速流動。

進一步地，鋼絲1的直徑為120μm，凹槽3的深度為8～12μm。

上述每根切割鋼絲的破斷拉力≥42N，抗拉強度≥3700M/mm²。