[實用新型]一種用于擴散爐的多管排廢系統

有效

• 申請號: 201621134732.0
• 申請日: 2016-10-19
• 公開（公告）號: CN206337326U
• 公開（公告）日: 2017-07-18
• 發明（設計）人: 文鷗;張勇
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B31/00
• 分類號: C30B31/00
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司44247
• 代理人: 胡朝陽,尹彥

技術領域

本實用新型涉及擴散爐排廢技術領域，更具體地說是涉及一種用于擴散爐的多管排廢系統。

背景技術

擴散爐主要用于對單晶硅片、多晶硅片進行摻雜形成PN結，其中PN結方塊電阻的大小對電池性能有著重要的影響，這樣高方阻工藝成為一種提高轉換效率的有效方法，而且高方阻工藝對酸排流量的控制和壓力平衡有很高的要求。

現有擴散爐酸排廢液大多數都是采用一根主管來排廢，即一根主管上連通有多根酸排管，這樣各個酸排管之間排廢流量不能單獨控制，而且各個酸排管之間的排廢壓力會互相干涉，直接影響了高方阻工藝時方阻的均勻性。另外，每個酸排管單獨在酸排處增加球閥，但是由于酸排的結晶雜質很容易造成球閥的堵塞。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種用于擴散爐的多管排廢系統，使得各個酸排管之間的排廢壓力不會發生干涉。

本實用新型的技術方案為：一種用于擴散爐的多管排廢系統，包括主排廢管、廢液收集管和與廢液收集管連通的廢液收集瓶，還包括若干根排廢小管，所述若干根排廢小管的兩端分別與所述主排廢管和所述廢液收集管連通，每根所述排廢小管上設置與該排廢小管連通的酸排管接頭，所述酸排管接頭與酸排管連通。

每根所述排廢小管上位于酸排管接頭的上方設置第一球閥，每根所述排廢小管上位于酸排管接頭的下方設置第二球閥。

所述排廢小管為四根或者五根。

還包括固定板，所述固定板上設有與排廢小管的數量相等的通孔，所述固定板通過其上的通孔套在排廢小管上并與排廢小管之間焊接。

所述排廢小管的上、中、下位置分別設置有一個所述固定板。

所述第一球閥和所述第二球閥均為聚四氟球閥。

所述排廢小管的兩端分別與所述主排廢管和所述廢液收集管焊接。

所述酸排管接頭焊接在排廢小管上。

本實用新型的多管排廢系統，酸排廢液可以直接通過排廢小管流入到廢液收集瓶，各個酸排管之間的排廢壓力不會發生干涉。而且在每根所述排廢小管上位于酸排管接頭的上方設置第一球閥，在每根所述排廢小管上位于酸排管接頭的下方設置第二球閥，可以通過調節第一球閥和第二球閥來控制酸排管的排廢流量。

附圖說明

圖1為本實用新型多管排廢系統的結構圖。

具體實施方式

如圖1，本實用新型提出的用于擴散爐的多管排廢系統，包括主排廢管10、廢液收集管20和與廢液收集管20連通的廢液收集瓶30。該多管排廢系統還包括若干根排廢小管40，該若干根排廢小管40的兩端分別與主排廢管10和廢液收集管20連通。本實施例中排廢小管40為四根或者五根，圖中視出的為四根。排廢小管40的兩端分別與主排廢管10和廢液收集管20焊接。

每根排廢小管40上設置與該排廢小管連通的酸排管接頭43，酸排管接頭43與酸排管（圖中未畫出）連通，這樣酸排管中的廢液就可以直接通過排廢小管流入到廢液收集管20中。

每根排廢小管40上位于酸排管接頭43的上方設置第一球閥41，每根排廢小管40上位于酸排管接頭43的下方設置第二球閥42。第一球閥41用來控制主排廢管10排出的廢氣流量，第二球閥42用來控制酸排管中的廢液流量。酸排廢液流經酸排管后，再依次流經排廢小管、廢液收集管，最后流入廢液收集管內，在此過程中可以通過調節第一球閥41和第二球閥42來控制酸排管中的廢液流量。另外，打開第二球閥42還能將酸排廢液的雜質結晶排至廢液收集瓶，避免堵塞。本實施例中酸排管接頭43焊接在排廢小管40上。

本實施例中第一球閥41和第二球閥42均為聚四氟球閥。

該多管排廢系統還包括固定板50，固定板50上設有與排廢小管40的數量相等的通孔，固定板50通過其上的通孔套在排廢小管40上并與排廢小管40之間焊接。本實施例中固定板上設有四個通孔與四個排廢小管相對應，固定板通過其上的四個通孔套在四個排廢小管并與該四個排廢小管之間分別焊接，從而將四個排廢小管連接在一起，避免了四個排廢小管產生晃動。本實施例中排廢小管40的上、中、下位置分別設置一個固定板50。

本實用新型提出的多管排廢系統，每根酸排管與一根單獨的排廢小管連通，酸排廢液直接通過排廢小管流入到廢液收集瓶，各個酸排管之間的排廢壓力不會發生干涉。而且在每根排廢上的酸排管接頭的上方、下方分別設置第一球閥、第二球閥，可以通過調節第一球閥和第二球閥來控制酸排管的排廢流量，使得高方阻工藝時方阻的均勻性好。

以上的具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的構思，本領域的普通技術人員在本實用新型的構思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護范圍之內。