[實用新型]一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置有效
| 申請號： | 201621134518.5 | 申請日： | 2016-10-19 |
| 公開（公告）號： | CN206502860U | 公開（公告）日： | 2017-09-19 |
| 發明（設計）人： | 周文彬;鄧勛明;曹新民;張軍委 | 申請（專利權）人： | 昆山迅立光電設備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 pecvd pvd 混合 連續 柔性 薄膜 鍍膜 裝置 | ||
1.一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置，其特征在于送卷腔室(11）、收卷腔室（17）、PECVD處理腔室（13）、隔離腔室（14）、PVD處理腔室（15）、腔室狹長縫隙（16）所組成。
2.根據權利要求1 所敘述之一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置，其特征在于所述隔離腔室設置氣氛隔離機構并通入惰性氣體。
3.根據權利要求2 所敘述之一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置，其特征在于所述氣氛隔離機構，其特征在于：上板及下板互相平行設置，其中下板設置進氣孔，直徑5mm-10mm，間隔100mm設置，共設置15孔。
4.根據權利要求1所述之一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置，其特征在于所述PECVD處理腔室，可包含一個或多個處理腔室。
5.根據權利要求1所述之一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置，其特征在于所述PVD處理腔室，可包含一個或多個處理腔室。
6.根據權利要求1所述之一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置腔室狹長縫隙，其特征在于所述狹長縫隙，可設置一個或多個狹長縫隙，間隙5-10mm。
7.根據權利要求2 所敘述一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置，其特征在于所述隔離腔室，可設置一個或多個隔離腔室。
8.根據權利要求3所述一種PECVD與PVD混合連續式柔性薄膜鍍膜裝置，其特征在于所述氣氛隔離機構，可設置一個或多個氣氛隔離機構于隔離腔室內。
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