[實用新型]快速退火爐的反應腔體結構

有效

• 申請號: 201621128649.2
• 申請日: 2016-10-17
• 公開（公告）號: CN206379333U
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 于長權;戎曉澎;楊珉
• 申請（專利權）人: 新利得（天津）焊接材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.快速退火爐的反應腔體結構，其特征在于，所述腔體包括金屬腔體和金屬腔體內部的石英腔體，金屬腔體與石英腔體之間為加熱燈帶，所述金屬腔體由上板、下板、前板、后板、左側板、右側板拼裝而成，所述前板、后板、左側板、右側板上設有若干燈夾，燈夾上安裝有加熱燈，所述石英腔體的后端設有工藝氣體進氣板，并由后法蘭固定，石英腔體的前端設有廢氣排出管，石英腔體內設有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法蘭的中央設有工藝氣體進氣管，前法蘭與石英腔體的接觸面上設有密封圈，所述上板、下板上設有若干均勻分布的小孔，使得冷卻氣體通過小孔分流呈均勻狀態進入金屬腔體。

2.根據權利要求1所述的快速退火爐的反應腔體結構，其特征在于，所述金屬腔體的上板、下板、前板、后板、左側板、右側板均為鋁板。

3.根據權利要求1所述的快速退火爐的反應腔體結構，其特征在于，所述石英腔體由前法蘭、石英扁盒及后法蘭熔焊而成，所述石英腔體的中心設有一長條形孔，該孔以藍寶石薄片熔焊密封。

4.根據權利要求1所述的快速退火爐的反應腔體結構，其特征在于，所述石英托片架由石英板、石英頂針、石英小管熔焊而成，所述石英板的中心設有圓孔，圓孔的圓周固定設有用于承托硅片的石英頂針，所述石英板的上、下兩側邊緣設有石英小管，所述石英板的末端設有定位小孔，兩個定位小孔之間的石英板與圓孔相通。