[實(shí)用新型]一種用于MEMS微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試的低溫環(huán)境加載裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201621125645.9 | 申請日： | 2016-10-15 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN206074211U | 公開（公告）日： | 2017-04-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 佘東生;楊一柳;魏澤飛;于震;趙輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 渤海大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01M7/02 | 分類號(hào)： | G01M7/02;G01M13/00 |
| 代理公司： | 錦州遼西專利事務(wù)所21225 | 代理人： | 李輝 |
| 地址： | 121000 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 mems 微結(jié)構(gòu) 動(dòng)態(tài) 特性 測試 低溫 環(huán)境 加載 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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