[實用新型]一種用于MEMS微結構動態特性測試的高溫環境加載裝置有效
| 申請號： | 201621124703.6 | 申請日： | 2016-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN206074210U | 公開（公告）日： | 2017-04-05 |
| 發明（設計）人： | 佘東生;楊一柳;魏澤飛;于震;趙玉峰 | 申請（專利權）人： | 渤海大學 |
| 主分類號： | G01M7/02 | 分類號： | G01M7/02 |
| 代理公司： | 錦州遼西專利事務所21225 | 代理人： | 李輝 |
| 地址： | 121000 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 mems 微結構 動態 特性 測試 高溫 環境 加載 裝置 | ||
【說明書】：
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