[實(shí)用新型]硅烷尾氣取樣裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201621122489.0 | 申請(qǐng)日： | 2016-10-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN206132451U | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-04-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉淑萍;宗鳳云;李輝;曹忠;赫蘭英;宋佳寧;周大勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 內(nèi)蒙古神舟硅業(yè)有限責(zé)任公司;上海空間電源研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01N1/22 | 分類號(hào)： | G01N1/22 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 010070 內(nèi)蒙古自*** | 國(guó)省代碼： | 內(nèi)蒙古;15 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅烷 尾氣 取樣 裝置 | ||
1.硅烷尾氣取樣裝置，其特征在于，其包括尾氣取樣管道(1)、硅烷尾氣出口針型閥(2)、氫氣管道針型閥(3)、樣品鋼瓶進(jìn)氣閥(4)、樣品鋼瓶排氣閥(5)、旁路針型閥(6)、氫氣管道(7)、樣品鋼瓶(8)和堿液吸收桶(9)；尾氣取樣管道(1)的出口與硅烷尾氣出口針型閥(2)的進(jìn)口連接，硅烷尾氣出口針型閥(2)的出口分別與氫氣管道針型閥(3)的出口、樣品鋼瓶進(jìn)氣閥(4)的進(jìn)口和旁路針型閥(6)的進(jìn)口通過(guò)管道連接，氫氣管道針型閥(3)的進(jìn)口與氫氣管道(7)的出口通過(guò)管道連接，樣品鋼瓶進(jìn)氣閥(4)的出口與樣品鋼瓶(8)的進(jìn)口通過(guò)管道連接，樣品鋼瓶(8)的出口與樣品鋼瓶排氣閥(5)的進(jìn)口連接，樣品鋼瓶排氣閥(5)的出口與堿液吸收桶(9)的進(jìn)口通過(guò)管道連接，旁路針型閥(6)的出口與堿液吸收桶(9)的進(jìn)口通過(guò)管道連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅烷尾氣取樣裝置，其特征在于，樣品鋼瓶進(jìn)氣閥(4)的進(jìn)口與連接硅烷尾氣出口針型閥(2)和樣品鋼瓶進(jìn)氣閥(4)管道的出口通過(guò)螺紋連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅烷尾氣取樣裝置，其特征在于，樣品鋼瓶排氣閥(5)的出口與連接樣品鋼瓶排氣閥(5)和堿液吸收桶(9)管道的進(jìn)口通過(guò)螺紋連接。
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