[實用新型]一種復合式壓電變形鏡

有效

• 申請號: 201621113020.0
• 申請日: 2016-10-11
• 公開（公告）號: CN206161956U
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 馬劍強;朱正雄;田雷;章家連
• 申請（專利權）人: 寧波大學
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 杭州千克知識產權代理有限公司33246
• 代理人: 黃芳

1.一種復合式壓電變形鏡，其特征在于：包括單壓電變形鏡和單壓電執行器陣列，單壓電變形鏡設置在單壓電執行器陣列的上方，并通過連接在單壓電執行器陣列上的連接柱支撐；單壓電變形鏡由從上往下依次設置的光學反射層、第一彈性層、作為公共地的正面電極層、第一壓電層、背面電極層；單壓電執行器陣列包括多個固定于帶通孔的基座上的單壓電執行器，每個單壓電執行器包括第二彈性層和第二壓電層，第二壓電層的兩面均覆蓋有電極層，每個單壓電執行器上均連接有支撐用的連接柱。

2.如權利要求1所述的復合式壓電變形鏡，其特征在于：單壓電變形鏡正面電極層是整片結構，背面電極層是由多個小電極組合而成。

3.如權利要求1所述的復合式壓電變形鏡，其特征在于：單壓電變形鏡的電極數量比單壓電執行器陣列電極數量高一或兩個數量級。

4.如權利要求1所述的復合式壓電變形鏡，其特征在于：單壓電執行器的諧振頻率比單壓電變形鏡的諧振頻率高。

5.如權利要求1~4之一所述的復合式壓電變形鏡，其特征在于：單壓電執行器陣列中的多個單壓電執行器是一體結構或是分離結構。

6.如權利要求5所述的復合式壓電變形鏡，其特征在于：單壓電執行器的第二壓電層設置在第二彈性層的上方，或者第二彈性層設置在第二壓電層的上方。

7.如權利要求6所述的復合式壓電變形鏡，其特征在于：連接柱位于單壓電執行器的中心處。

8.如權利要求7所述的復合式壓電變形鏡，其特征在于：每個單壓電執行器下面均對應一個通孔，通過第二彈性層固定于基座上。