[實(shí)用新型]掃描系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201621107582.4
• 申請日: 2016-10-09
• 公開（公告）號: CN206975399U
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W.雷奇克
• 申請（專利權(quán)）人: 激光影像系統(tǒng)有限責(zé)任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所11105
• 代理人: 陳钘

1.一種掃描系統(tǒng)，用于掃描寫入光束且由此寫入圖案到印刷電路板表面上，其特征在于，該掃描系統(tǒng)包括：

臺，用于安裝要被處理的印刷電路板；

光學(xué)器材，用于將寫入光束引導(dǎo)到印刷電路板表面上；

工作底部(92)，用于支撐所述光學(xué)器材和臺，且

其中所述光學(xué)器材包括可變光束衰減器，其定位在掃描系統(tǒng)的寫入光束的光束路徑中，該可變光束衰減器包括：

電機(jī)，固定在可變光束衰減器的基座上；

軸，連接到電機(jī)，且被配置為由電機(jī)沿順時(shí)針或逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)；以及衰減器單元，固定到所述軸且配置為基于寫入光束入射到衰減器單元的傾角來調(diào)整寫入光束的功率。

2.如權(quán)利要求1所述的掃描系統(tǒng)，其特征在于，衰減器單元隨著所述軸的旋轉(zhuǎn)而一起旋轉(zhuǎn)，且所述傾角基于衰減器單元的旋轉(zhuǎn)而被控制，所述軸(348)沿垂直于寫入光束(16’)的方向延伸。

3.如權(quán)利要求2所述的掃描系統(tǒng)，其特征在于，所述衰減器單元包括：玻璃；以及設(shè)置在玻璃上的濾光器。

4.如權(quán)利要求3所述的掃描系統(tǒng)，其特征在于，所述濾光器為平行偏振邊緣濾光器，且對于所述傾角敏感；以及傳輸穿過衰減器單元的寫入光束的功率隨著所述傾角從0度到90度增大而增大。

5.如權(quán)利要求3所述的掃描系統(tǒng)，其特征在于，所述玻璃由合成石英片形成；以及所述片的厚度在1mm以內(nèi)。

6.如權(quán)利要求1所述的掃描系統(tǒng)，其特征在于，所述可變光束衰減器還包括：

散熱器，設(shè)置在基座上且配置為接收由衰減器單元反射的寫入光束的部分；以及

冷卻系統(tǒng)，連接到散熱器且配置為消散由散熱器吸收的熱量。

7.如權(quán)利要求6所述的掃描系統(tǒng)，其特征在于，所述散熱器為UV吸收涂層；且所述涂層由黑陶瓷形成。

8.如權(quán)利要求1所述的掃描系統(tǒng)，其特征在于，所述可變光束衰減器還包括位置開關(guān)，其連接到所述軸且被配置用于設(shè)置衰減器單元的角度位置。

9.如權(quán)利要求8所述的掃描系統(tǒng)，其特征在于，所述位置開關(guān)還包括：板，被構(gòu)圖有限定預(yù)定角度的開口；以及光學(xué)傳感器，被對應(yīng)于所述板提供，且配置為檢測光學(xué)傳感器的視線是被阻擋還是透過所述板，以確定是否已經(jīng)抵達(dá)預(yù)定角度中的一個(gè)。