[實(shí)用新型]一種動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法測(cè)量真空器件殘余氣體分析系統(tǒng)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201621072318.1 | 申請(qǐng)日： | 2016-09-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN206074511U | 公開（公告）日： | 2017-04-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳文一;陳軍;石曉沛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 南京益東惠電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N27/62 | 分類號(hào)： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 211112 江*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 動(dòng)態(tài) 流導(dǎo)法 測(cè)量 真空 器件 殘余 氣體 分析 系統(tǒng) 裝置 | ||
【說明書】：
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