[實用新型]用于離子植入機中的靜電透鏡的端電極有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201621045811.4 | 申請日： | 2016-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN206098339U | 公開（公告）日： | 2017-04-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | W·戴維斯·李 | 申請（專利權(quán)）人： | 瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司 |
| 主分類號： | H01J37/12 | 分類號： | H01J37/12;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205 | 代理人： | 楊貝貝,臧建明 |
| 地址： | 美國麻薩諸塞*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 離子 植入 中的 靜電透鏡 電極 | ||
【說明書】：
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