[實用新型]光束取樣系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201621025679.0
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN206192500U
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李成鈺
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01J1/04
• 分類號: G01J1/04;G01J3/02;G01M11/02
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11371
• 代理人: 吳開磊

1.一種光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，包括光學(xué)準直組件、光學(xué)分束組件、雜光接收組件、功率測量裝置、光譜測量裝置、濾光組件、衰減片組和光束參數(shù)測量儀，所述光學(xué)準直組件用于準直射入所述光束取樣系統(tǒng)的激光光束形成準直光，所述光學(xué)分束組件用于接收所述準直光并將所述準直光分離成參數(shù)測量光、功率測量光、光譜測量光和雜光，所述雜光接收組件用于接收所述雜光，所述功率測量裝置用于接收所述功率測量光，所述光譜測量裝置用于接收所述光譜測量光，所述濾光組件用于接收所述參數(shù)測量光形成過濾光，所述衰減片組用于接收所述過濾光形成衰減光，所述光束參數(shù)測量儀用于接收所述衰減光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述光學(xué)分束組件包括第一劈板、第二劈板和第三劈板，所述第一劈板包括與所述準直光方向相對的第一前表面和與所述第一前表面相背離的第一后表面，所述第二劈板與所述第一劈板相對設(shè)置，所述第二劈板具有與所述第一前表面相對的第二前表面和與所述第二前表面相背離的第二后表面，所述第三劈板與所述第二劈板相對設(shè)置，所述第三劈板具有與所述第二前表面相對的第三前表面和與所述第三前表面相背離的第三后表面，所述第一前表面將所述準直光部分的反射形成第一前表面反射光，所述第二前表面將所述第一前表面反射光部分的反射形成第二前表面反射光，所述第三前表面將所述第二前表面反射光部分的反射形成所述參數(shù)測量光。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述雜光接收組件包括第一收光組件、第二收光組件和第一反光鏡，所述雜光包括第一后表面反射光、第一后表面透射光和第三后表面透射光，所述第一收光組件與所述第一后表面相對設(shè)置，所述第二收光組件與所述第三后表面相對設(shè)置，所述第一反光鏡與所述第一收光組件相對設(shè)置，所述第一前表面將所述準直光部分的透射形成第一前表面透射光，所述第一后表面將所述第一前表面透射光部分的反射形成所述第一后表面反射光、將所述第一前表面透射光部分的透射形成所述第一后表面透射光，所述第一反光鏡將所述第一后表面反射光全部反射，所述第一收光組件用于接收所述第一后表面透射光與經(jīng)過所述第一反光鏡反射的所述第一后表面反射光，所述第三前表面將所述第二前表面反射光部分的透射形成第三前表面透射光，所述第三后表面將所述第三前表面透射光部分的透射形成所述第三后表面透射光，所述第二收光組件用于接收所述第三后表面透射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述功率測量裝置與所述第二后表面相對設(shè)置，所述第二前表面將所述第一前表面反射光部分的透射形成第二前表面透射光，所述第二后表面將所述第二前表面透射光部分的透射形成所述功率測量光，所述功率測量裝置用于接收所述功率測量光。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述光譜測量裝置與所述第一前表面相對設(shè)置，所述第二后表面將所述第二前表面透射光部分的反射形成所述光譜測量光，所述光譜測量裝置用于接收所述光譜測量光。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述光學(xué)準直組件包括準直器、第一光闌和第二光闌，所述準直器與所述第一前表面相對設(shè)置，所述第一光闌設(shè)置在所述準直器與所述第一前表面之間，所述第二光闌設(shè)置在所述第一收光組件與所述第一后表面之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一收光組件和所述第二收光組件為收光筒或功率計，所述功率測量裝置為功率計。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述光譜測量裝置為光譜探頭或積分球。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述濾光組件為二向色鏡或過濾片。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項所述的光束取樣系統(tǒng)，其特征在于，所述光束取樣系統(tǒng)整體安裝在同一個平臺上。