[實(shí)用新型]硅片花籃回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201621021617.2 | 申請(qǐng)日： | 2016-08-31 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN206059354U | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-03-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳宏;徐虎 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 張家港市超聲電氣有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L21/67 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市維益專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙)32211 | 代理人： | 陸華君 |
| 地址： | 215618 江蘇省蘇州市張家港市*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅片 花籃 回轉(zhuǎn) 機(jī)構(gòu) | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 工程機(jī)械回轉(zhuǎn)支承定位裝置
- 一種掘進(jìn)機(jī)回轉(zhuǎn)臺(tái)固定結(jié)構(gòu)
- 一種掘進(jìn)機(jī)回轉(zhuǎn)臺(tái)固定結(jié)構(gòu)
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- 一種移動(dòng)式自動(dòng)裝沙機(jī)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
- 一種停車(chē)設(shè)備用回轉(zhuǎn)裝置及停車(chē)設(shè)備
- 一種停車(chē)設(shè)備用回轉(zhuǎn)裝置及停車(chē)設(shè)備
- 一種回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及掘進(jìn)機(jī)
- 貼標(biāo)機(jī)構(gòu)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
- 滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、按鈕機(jī)構(gòu)、磁性鎖存機(jī)構(gòu)和按鍵機(jī)構(gòu)
- 操作機(jī)構(gòu)的輔助機(jī)構(gòu)
- 用于操作機(jī)構(gòu)的輔助機(jī)構(gòu)
- 操作機(jī)構(gòu)的輔助機(jī)構(gòu)
- 機(jī)構(gòu)下壓解鎖機(jī)構(gòu)
- 吸附機(jī)構(gòu)和承載機(jī)構(gòu)
- 換筆機(jī)構(gòu)及寫(xiě)字機(jī)構(gòu)
- 送膠機(jī)構(gòu)改進(jìn)機(jī)構(gòu)
- 軸承機(jī)構(gòu)、風(fēng)門(mén)機(jī)構(gòu)以及具備風(fēng)門(mén)機(jī)構(gòu)的鍋爐
