[實用新型]一種硅片清洗機的熱吹風烘干裝置有效
| 申請號： | 201621012946.0 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN205980703U | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 陳建平 | 申請（專利權）人： | 浙江德西瑞光電科技有限公司 |
| 主分類號： | F26B21/00 | 分類號： | F26B21/00 |
| 代理公司： | 嘉興永航專利代理事務所(普通合伙)33265 | 代理人： | 蔡鼎 |
| 地址： | 314415 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 清洗 吹風 烘干 裝置 | ||
【權利要求書】：
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