[實用新型]一種研磨墊安裝時的氣泡消除裝置有效
| 申請號： | 201620996168.7 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN206105652U | 公開（公告）日： | 2017-04-19 |
| 發明（設計）人： | 羅方;周小云 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B24D18/00 | 分類號： | B24D18/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吳世華,陳慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 研磨 安裝 氣泡 消除 裝置 | ||
【說明書】：
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