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[實用新型]高轉化率多晶硅清洗裝置有效

專利信息
申請號: 201620992869.3 申請日: 2016-08-30
公開(公告)號: CN206046560U 公開(公告)日: 2017-03-29
發明(設計)人: 許波 申請(專利權)人: 常州群達硅材料整理有限公司
主分類號: B08B3/08 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 213200 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 轉化 多晶 清洗 裝置
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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