[實用新型]一種光路定標裝置有效
| 申請號： | 201620990063.0 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN206074877U | 公開（公告）日： | 2017-04-05 |
| 發明（設計）人： | 陳魯;張朝前;劉虹遙;楊樂;馬硯忠;路鑫超 | 申請（專利權）人： | 中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心 |
| 主分類號： | G02B7/00 | 分類號： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 北京華沛德權律師事務所11302 | 代理人： | 房德權 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉興市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 定標 裝置 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心，未經中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201620990063.0/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
