[實(shí)用新型]多晶硅還原爐的絕緣組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620986709.8
• 申請(qǐng)日: 2016-08-31
• 公開（公告）號(hào): CN206580565U
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊林喜;喻波;陳建宇;趙亮;郝愛科
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): C01B33/035
• 分類號(hào): C01B33/035
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技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種絕緣組件，尤其涉及一種多晶硅還原爐的絕緣組件。

背景技術(shù)

多晶硅生產(chǎn)過程中，還原爐內(nèi)電極穿過還原爐底盤，將硅芯通過石墨套件及絕緣套件固定在電極上，通過電極為硅芯接通電流，加熱硅芯，從而達(dá)到發(fā)生還原化學(xué)氣相沉積所需溫度。其中石墨套件主要起到固定硅芯、支撐硅棒和與硅芯接觸導(dǎo)通電流的作用，絕緣陶瓷環(huán)主要起到隔絕電極與還原爐底盤，絕緣保護(hù)、避免放電現(xiàn)象發(fā)生的作用。

一般絕緣套件為陶瓷套件，呈圓環(huán)形，嵌套在電極上，起到絕緣隔離電極與還原爐底盤的作用。但是對(duì)于異形的電極及石墨結(jié)構(gòu)，這種絕緣套件就難以穩(wěn)定支撐。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：提供一種可以穩(wěn)定支撐的多晶硅還原爐絕緣組件。

一種多晶硅還原爐的絕緣組件，包括石墨支撐底座，石墨支撐底座包括第一導(dǎo)電臂和第二導(dǎo)電臂。多晶硅還原爐的絕緣組件還包括絕緣支撐臺(tái)，該絕緣支撐臺(tái)包括用于支撐第一導(dǎo)電臂的第一支撐臂和用于支撐第二導(dǎo)電臂的第二支撐臂。

進(jìn)一步地，第一導(dǎo)電臂包括用于安裝硅芯的第一安裝部，第二導(dǎo)電臂包括用于安裝硅芯的第二安裝部，第一支撐臂包括用于支撐第一安裝部的第一支撐部，第二支撐臂包括用于支撐第二安裝部的第二支撐部。

進(jìn)一步地，石墨支撐底座還包括第三導(dǎo)電臂，第三導(dǎo)電臂上設(shè)置有安裝硅芯的第三安裝部，絕緣平臺(tái)還包括用于支撐第三導(dǎo)電臂的第三支撐臂，第三支撐臂包括用于支撐第三安裝部的第三支撐部。

進(jìn)一步地，第一支撐臂、第二支撐臂和第三支撐臂均勻分布，相鄰導(dǎo)電臂的夾角為120度。

進(jìn)一步地，石墨支撐底座還包括第四導(dǎo)電臂，第四導(dǎo)電臂上設(shè)置有安裝硅芯的第四安裝部，四個(gè)導(dǎo)電臂十字形分布，兩兩對(duì)稱；絕緣支撐臺(tái)還包括用于支撐第四導(dǎo)電臂的第四支撐臂，第四支撐臂上設(shè)置有支撐第四安裝部的第四支撐部。

進(jìn)一步地，第一導(dǎo)電臂上還設(shè)置有第一附加安裝部，第二導(dǎo)電臂上設(shè)置有第二附加安裝部；第一支撐臂上設(shè)置有用于支撐第一附件安裝部的第一附加支撐部，第二支撐臂上設(shè)置有用于支撐第二附加安裝部的第二附加支撐部。

進(jìn)一步地，第一導(dǎo)電臂比第二導(dǎo)電臂高，第一支撐臂末端設(shè)置有對(duì)應(yīng)支持第一導(dǎo)電臂的凸臺(tái)。

進(jìn)一步地，第一導(dǎo)電臂和第二導(dǎo)電臂可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一支撐臂和第二支撐臂可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

進(jìn)一步地，第一支撐臂和第二支撐臂的底部邊緣具有切削部。

進(jìn)一步地，還包括設(shè)置支撐絕緣平臺(tái)的絕緣套。

本實(shí)用新型的多晶硅還原爐的絕緣組件，對(duì)于多導(dǎo)電臂的石墨支撐底座對(duì)應(yīng)設(shè)計(jì)，可以穩(wěn)定支撐石墨支撐底座，保證多晶硅還原爐內(nèi)可以高密度生長(zhǎng)大量硅棒。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施方式一多晶硅還原爐的絕緣組件的示意圖。

圖2為圖1所示的多晶硅還原爐的絕緣組件的絕緣支撐臺(tái)的剖視圖。

圖3為圖2所示的絕緣支撐臺(tái)的俯視圖。

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施方式二的絕緣支撐臺(tái)的俯視圖。

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施方式三的絕緣支撐臺(tái)的俯視圖。

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施方式四的絕緣支撐臺(tái)的剖視圖。

圖7為本實(shí)用新型實(shí)施方式五的多晶硅還原爐的絕緣組件的剖視圖。

圖8本實(shí)用新型實(shí)施方式六的絕緣支撐臺(tái)的俯視圖。

圖9本實(shí)用新型實(shí)施方式七的絕緣支撐臺(tái)的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合圖示對(duì)本實(shí)用新型的多晶硅還原爐的絕緣組件進(jìn)行詳細(xì)說明。

請(qǐng)參見圖1到圖3，本實(shí)用新型實(shí)施方式一的多晶硅還原爐的絕緣組件包括石墨支撐底座21、設(shè)置在石墨支撐底座21上的石墨卡瓣23、設(shè)置在石墨卡瓣23外部的石墨卡套25、絕緣套31和絕緣支撐臺(tái)33。其中，石墨卡瓣23用于夾持硅芯，石墨卡套25在石墨卡瓣23夾持硅芯后套在石墨卡瓣23外部，保持石墨卡瓣23能夠穩(wěn)定夾持硅芯。

在實(shí)施方式一中，石墨支撐底座21與電極12配合固定。石墨支撐底座21包括第一導(dǎo)電臂213和第二導(dǎo)電臂215，第一導(dǎo)電臂213和第二導(dǎo)電臂215對(duì)稱。第一導(dǎo)電臂213相對(duì)于卡槽211的遠(yuǎn)端端部設(shè)置有第一安裝部2131，同樣地，第二導(dǎo)電臂215相對(duì)于卡槽211的遠(yuǎn)端端部設(shè)置有第二安裝部2151。第一安裝部2131和第二安裝部2151上可以分別設(shè)置一個(gè)石墨卡瓣23和石墨卡套25，用于分別安裝一個(gè)硅芯，可以提高還原爐使用時(shí)多晶硅硅棒的密度。