[實用新型]一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐有效
| 申請號: | 201620971672.1 | 申請日: | 2016-08-30 |
| 公開(公告)號: | CN206157276U | 公開(公告)日: | 2017-05-10 |
| 發明(設計)人: | 鄭清超;楊坤 | 申請(專利權)人: | 河北同光晶體有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司: | 北京連城創新知識產權代理有限公司11254 | 代理人: | 郝學江 |
| 地址: | 071051 河北省保定市北*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 碳化硅 寶石 顆粒 濕法 工藝 | ||
1.一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐,其特征在于:包括上蓋板、上保溫箱、下保溫箱和控制箱;所述的上保溫箱設置在下保溫箱之上,所述的下保溫箱內部底端設置有電爐,所述的電爐上設置隔離托盤;所述的上保溫箱為中空結構,所述的中空結構設置有石墨坩堝;所述的上保溫箱上設置有測溫支架;所述的上保溫箱上端的中空口設置有上蓋板;所述的電爐通過導管連接控制箱。
2.根據權利要求1所述的一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐,其特征在于:導管外圍材質為陶瓷管。
3.根據權利要求1所述的一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐,其特征在于:所述的電爐功率采用1KW。
4.根據權利要求1所述的一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐,其特征在于:所述的隔離托盤設置有6mm圓邊,采用不銹鋼材質。
5.根據權利要求1所述的一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐,其特征在于:所述的上保溫箱和下保溫箱采用碳化硅晶體生長爐的軟氈材料。
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