[實用新型]光刻機(jī)的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620946402.5 | 申請日： | 2016-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN206039322U | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃建 | 申請（專利權(quán)）人： | 志圣科技（廣州）有限公司 |
| 主分類號： | G05D23/20 | 分類號： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 廣州市越秀區(qū)海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所(普通合伙)44295 | 代理人： | 任琳 |
| 地址： | 510850 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光刻 溫度 變頻 調(diào)節(jié) 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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