[實用新型]自動化單晶硅切片機

有效

• 申請號: 201620934373.0
• 申請日: 2016-08-25
• 公開（公告）號: CN206264171U
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 朱汪龍;朱玲;袁亞彬
• 申請（專利權）人: 無錫樂東微電子有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 江蘇英特東華律師事務所32229
• 代理人: 朱清韻

技術領域

本實用新型涉及單晶硅技術領域，尤其涉及單晶硅生產設備技術領域，具體是指一種自動化單晶硅切片機。

背景技術

單晶硅片是一種具有基本完整的點陣結構的晶體，不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料，廣泛用于制造半導體器件、太陽能電池等，而單晶硅片則是通過切片機有序的從硅棒上加工出來。

目前市場上出現了很多種單晶硅切片機，然而，現有技術中的切片機普遍存在如下問題：

（1）在切割的時候會產生大量的硅片霧，如果這些霧不排出去的話，被人吸入之后會對人體造成損害，而且還會使得切片機上覆蓋上一層硅粉，導致散熱出現問題，使得機器損害，而一般的單晶硅切片機的排霧系統都是靠手動去操作開關的，這樣容易出現當打開機器以后，由于不能及時的打開排霧系統，導致出現生產安全事故，或是提早打開了排霧系統，浪費資源不說，而且也可能會出現一些故障；

（2）目前的單晶硅片生產無法實現自動化，必需要有操作工人一直站在機器旁操作，進行取料和上料，并實時觀察單晶硅的切片狀況。這樣會造成人力物力的損失，不利于單晶硅的大規模生產，并且由于切割時產生大量的硅片霧，對于操作工人的身體健康也有一定的無法避免的損害。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服了上述現有技術的缺點，提供了一種能夠實現全自動化生產、實時監控切片機工作、在切割時自動打開排霧系統、結構簡單、應用方便、具有更廣泛應用范圍的自動化單晶硅切片機。

為了實現上述目的，本實用新型具有如下構成：

該自動化單晶硅切片機，其主要特點是，所述的切片機包括上料機械手、切割平臺、切割刀架、攝像裝置、下料機械手、輸送帶和控制器，所述的上料機械手、下料機械手、切割刀架、攝像裝置和輸送帶均與所述的控制器相連接，所述的攝像裝置的攝像頭對準所述的上料機械手、切割平臺和輸送平臺，所述的切割平臺在所述的上料機械手的移動范圍內，所述的輸送帶和切割平臺均在所述的下料機械手的移動范圍內，所述的輸送帶連接至切割平臺的一端。

較佳地，所述的攝像裝置包括三個攝像機，所述的三個攝像機的攝像頭分別對準所述的上料機械手、切割平臺和輸送平臺。

較佳地，所述的輸送帶的下端設置有重量傳感器，所述的重量傳感器與所述的控制器相連接。

較佳地，所述的控制器同時與一遠程控制設備和一存儲設備相連接。

較佳地，所述的控制器上設置有顯示屏幕和輸入鍵盤，所述的輸入鍵盤包括九宮格輸入區域和一鍵求助按鈕。

較佳地，所述的切片機上還設置有排霧設備，所述的排霧設備包括排霧風扇和排霧管，所述的排霧管設置于所述的切片機的上方，所述的排霧風扇設置于所述的排霧管的一端。

更佳地，所述的排霧管為塑料排霧管。

較佳地，所述的控制器還連接有一報警設備。

更佳地，所述的報警設備為聲光報警器。

采用了該實用新型中的自動化單晶硅切片機，具有如下有益效果：

（1）通過設置上料機械手、下料機械手和輸送帶，實現了自動上料、切割、下料和傳送的過程，從而實現了單晶硅切片的全自動化過程，應用十分方便，無需工作人員站在切片機旁邊一直操作，節省了人力物力；

（2）設置攝像裝置對整個切片過程進行監控，通過遠程控制設備可以查看實時的拍攝視頻，從而判斷過程中是否出現故障，也可以通過遠程控制設備遠程操控切片步驟；

（3）設置排霧設備，在切片開始時同步打開排霧設備，消除硅片霧；

（4）該單晶硅切片機整體結構簡單，應用方便，適用于大規模推廣應用。

附圖說明

圖1為本實用新型的自動化單晶硅切片機的電路結構示意圖。

具體實施方式

為了能夠更清楚地描述本實用新型的技術內容，下面結合具體實施例來進行進一步的描述。

本實用新型提供了一種自動化單晶硅切片機，所述的切片機包括上料機械手、切割平臺、切割刀架、攝像裝置、下料機械手、輸送帶和控制器，所述的上料機械手、下料機械手、切割刀架、攝像裝置和輸送帶均與所述的控制器相連接，所述的攝像裝置的攝像頭對準所述的上料機械手、切割平臺和輸送平臺，所述的切割平臺在所述的上料機械手的移動范圍內，所述的輸送帶和切割平臺均在所述的下料機械手的移動范圍內，所述的輸送帶連接至切割平臺的一端。