[實用新型]一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機有效
| 申請號： | 201620920021.X | 申請日： | 2016-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN206057793U | 公開（公告）日： | 2017-03-29 |
| 發明（設計）人： | 王新旺;劉濤;楊振玲 | 申請（專利權）人： | 天津芯碩精密機械有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371 | 代理人： | 邵曉玉 |
| 地址： | 300457 天津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 直寫式 光刻 裝置 | ||
【說明書】：
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