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[實用新型]自攜式空氣凈化裝置及半導體生產(chǎn)車間有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201620915879.7 申請日: 2016-08-22
公開(公告)號: CN206257746U 公開(公告)日: 2017-06-16
發(fā)明(設(shè)計)人: 盧海倫 申請(專利權(quán))人: 通富微電子股份有限公司
主分類號: F24F1/02 分類號: F24F1/02;F24F13/28;F24F13/00;F24F13/20
代理公司: 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)44280 代理人: 何青瓦
地址: 226001 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 空氣凈化 裝置 半導體 生產(chǎn) 車間
【權(quán)利要求書】:

1.一種自攜式空氣凈化裝置,其特征在于,所述自攜式空氣凈化裝置用于裝設(shè)在設(shè)備上以向所述設(shè)備內(nèi)部輸入潔凈的空氣,所述設(shè)備設(shè)有入風口,所述自攜式空氣凈化裝置設(shè)有出風口,所述出風口與所述入風口對接安裝,所述自攜式空氣凈化裝置包括過濾網(wǎng),外部空氣經(jīng)所述過濾網(wǎng)過濾后再經(jīng)所述出風口輸向所述入風口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自攜式空氣凈化裝置,其特征在于,所述過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔的直徑為0.03微米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自攜式空氣凈化裝置,其特征在于,所述自攜式空氣凈化裝置包括強力鼓風機,所述強力鼓風機用于將外部空氣輸向所述過濾網(wǎng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自攜式空氣凈化裝置,其特征在于,所述自攜式空氣凈化裝置包括殼體,所述強力鼓風機與所述殼體固定連接,所述過濾網(wǎng)安裝于所述殼體內(nèi),所述殼體設(shè)有法蘭盤,所述法蘭盤用于與所述入風口緊密裝配。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自攜式空氣凈化裝置,其特征在于,所述自攜式空氣凈化裝置還包括密封圈,所述密封圈用于裝設(shè)在所述法蘭盤與所述入風口之間以使所述法蘭盤與所述入風口密封緊配。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自攜式空氣凈化裝置,其特征在于,所述法蘭盤與所述入風口通過螺釘裝配。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自攜式空氣凈化裝置,其特征在于,所述法蘭盤與所述入風口通過卡扣裝配。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自攜式空氣凈化裝置,其特征在于,所述法蘭盤與所述入風口通過焊接裝配。

9.一種半導體生產(chǎn)車間,其特征在于,所述半導體生產(chǎn)車間內(nèi)包括多個設(shè)備,所述設(shè)備上配設(shè)有權(quán)利要求1至8中任一項所述的自攜式空氣凈化裝置。

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