[實用新型]一種加速度計探頭及加速度計系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620889725.5
• 申請日: 2016-08-16
• 公開（公告）號: CN206132802U
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 湯亮;張忠山;季磊;支萌輝;齊敏;孫泉;喬東海;張倩
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院聲學(xué)研究所
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097
• 代理公司: 北京億騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所11309
• 代理人: 陳霽

1.一種加速度計探頭，其特征在于：包括應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)、多個薄膜體聲波諧振器，每個薄膜體聲波諧振器連接至少一個電極焊盤、以及支撐固定結(jié)構(gòu)(010)；

所述應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)通過所述支撐固定結(jié)構(gòu)(010)固定在所述加速度計探頭上；

所述多個薄膜體聲波諧振器通過所述薄膜體聲波諧振器的電極焊盤與射頻振蕩電路相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度計探頭，其特征在于：所述每個薄膜體聲波諧振器連接兩個電極焊盤，所述兩個電極焊盤對稱布置在所述薄膜體聲波諧振器兩側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度計探頭，其特征在于：所述應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)包括至少一個質(zhì)量塊(009)和多個應(yīng)力集中橋，所述至少一個質(zhì)量塊(009)和多個應(yīng)力集中橋通過所述支撐固定結(jié)構(gòu)(010)固定在所述加速度計探頭上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加速度計探頭，其特征在于：所述多個薄膜體聲波諧振器設(shè)置在所述多個應(yīng)力集中橋上并且靠近固定端。

5.一種加速度計系統(tǒng)，其特征在于，加速度系統(tǒng)包括：加速度計探頭(000)、射頻振蕩電路(100)和頻譜儀(200)；其中，

所述加速度計探頭(000)，用于探測加速度并且將加速度轉(zhuǎn)化為薄膜體聲波諧振器(005)的頻率變化；

所述射頻振蕩電路(100)，與所述加速度探頭中的薄膜體聲波諧振器(005)相連，用于根據(jù)所述薄膜體聲波諧振器(005)的頻率變化輸出不同頻率的射頻振蕩信號；

所述頻譜儀(200)，用于讀出所述射頻振蕩信號的頻率變化。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加速度計系統(tǒng)，其特征在于：所述薄膜體聲波諧振器(005)的結(jié)構(gòu)包括底電極(016)、壓電層(017)和頂電極(018)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加速度計系統(tǒng)，其特征在于：所述射頻振蕩電路(100)包括，多個并排的CMOS反相器(M1)、至少一個MOS管(M7)、多個電容(C1)、至少一個選頻網(wǎng)絡(luò)端(P1)、至少一個信號輸出端(Sout)和至少一個偏壓輸入端(Vb)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5或7所述的加速度計系統(tǒng)，其特征在于：所述射頻振蕩電路(100)是皮爾斯振蕩電路。