[實(shí)用新型]高效冷光源復(fù)曬機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201620887670.4 | 申請(qǐng)日: | 2016-08-16 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206020924U | 公開(公告)日: | 2017-03-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王國良;李琪鵬;豆福來;焦國濤;高巖;李子龍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 昆山良品絲印器材有限公司 |
| 主分類號(hào): | G03F7/20 | 分類號(hào): | G03F7/20 |
| 代理公司: | 昆山四方專利事務(wù)所32212 | 代理人: | 盛建德,張文婷 |
| 地址: | 215300 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 高效 光源 復(fù)曬機(jī) | ||
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備





