[實用新型]一種用于SiCIGBT外延工藝表面處理的腔體有效
| 申請號： | 201620885816.1 | 申請日： | 2016-08-16 |
| 公開（公告）號： | CN205881883U | 公開（公告）日： | 2017-01-11 |
| 發明（設計）人： | 申請（專利權）人： | ||
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L29/739;H01L29/16 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 sicigbt 外延 工藝 表面 處理 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于，未經許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201620885816.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種復合石墨烯電熱膜的制備方法
- 下一篇：校正裝置及晶圓傳送裝置
- 同類專利
- 專利分類
