[實用新型]一種硅片有蠟拋光工藝用的蠟回收裝置有效
| 申請號： | 201620871613.7 | 申請日： | 2016-08-12 |
| 公開（公告）號： | CN205966407U | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 范強;牛海濤;張磊;王勇;宋松偉 | 申請（專利權）人： | 麥斯克電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B05C11/10 | 分類號： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙)41120 | 代理人： | 狄干強 |
| 地址： | 471000 河南省洛陽*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 拋光 工藝 回收 裝置 | ||
【權利要求書】：
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