[實用新型]一種在線監測薄膜瑕疵的裝置有效
| 申請號： | 201620841453.1 | 申請日： | 2016-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN206057213U | 公開（公告）日： | 2017-03-29 |
| 發明（設計）人： | 王斌 | 申請（專利權）人： | 中國樂凱集團有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 石家莊冀科專利商標事務所有限公司13108 | 代理人： | 李羨民 |
| 地址： | 071054 *** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 在線 監測 薄膜 瑕疵 裝置 | ||
【權利要求書】：
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