[實(shí)用新型]多功能真空設(shè)備翻板閥門

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620838247.5
• 申請(qǐng)日: 2016-08-04
• 公開（公告）號(hào): CN206268459U
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周毅;劉國利;李國強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南玉豐真空科學(xué)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F16K1/20
• 分類號(hào): F16K1/20;F16K1/36;F16K1/32;F16K31/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種翻板閥門，特別是一種用于真空玻璃設(shè)備基片進(jìn)出口開啟與關(guān)閉的多功能真空設(shè)備翻板閥門。

背景技術(shù)

目前，市場上還沒有用于真空玻璃設(shè)備基片進(jìn)出口開啟與關(guān)閉的多功能真空設(shè)備翻板閥門。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、高溫狀態(tài)密封效果好、手動(dòng)、帶彈簧氣缸支撐、帶觀察窗的多功能真空設(shè)備翻板閥門。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：它包括閥門8、閥板2、氣缸3和拉手5，所述閥門8安裝在多功能真空設(shè)備上，閥門8上設(shè)有閥板2，所述閥板2中間設(shè)有安裝拉手5，所述氣缸3一端連接閥板2，另一端連接閥門8。

本實(shí)用新型的閥板2上安裝有合頁6，所述合頁6與氣缸3鉸接，氣缸3另一端與閥門8上的固定合頁7鉸接。

本實(shí)用新型的合頁6中轉(zhuǎn)軸在合頁下部固定件內(nèi)部。

本實(shí)用新型的閥板2上設(shè)置有冷卻水管槽，所述冷卻水管1安裝在冷卻水管槽內(nèi)，冷卻水管1環(huán)繞一圈閥板2。

本實(shí)用新型的閥板2在拉手5一側(cè)上設(shè)置有一個(gè)以上的觀察窗4。

本實(shí)用新型的閥板2上設(shè)置有橡膠密封圈。

本實(shí)用新型在工作要求打開門閥時(shí)，手動(dòng)向外拉開拉手5，閥板2在合頁6的約束下沿軸心向上旋轉(zhuǎn)90°后停止，由2根氣彈簧支撐在進(jìn)出閥口上方，基片進(jìn)出真空室；關(guān)閉門閥時(shí)，手動(dòng)向下拉拉手5，閥板2在合頁6的約束下沿軸心向下旋轉(zhuǎn)90°后貼合在真空室壁板上，真空系統(tǒng)開始抽真空。工作狀態(tài)時(shí)，冷卻水管1始終有16℃～28℃循環(huán)水流動(dòng)，及時(shí)帶走真空室內(nèi)部加熱傳導(dǎo)給閥板的熱量。兩個(gè)觀察窗4可實(shí)時(shí)觀察真空室內(nèi)的工作狀況。

它的優(yōu)點(diǎn)在于：

1. 密封性能好，閥門橡膠密封圈和閥板安裝結(jié)構(gòu)牢靠，閥門反復(fù)開關(guān)時(shí)密封性能保持良好，不會(huì)有泄露現(xiàn)象。密封圈為標(biāo)準(zhǔn)橡膠O形圈，裝入閥板燕尾槽內(nèi)后密封面高出約1.5mm，柔軟的橡膠圈在閥門關(guān)閉受壓后與閥口壁形成密封。密封槽口寬度小于O形圈直徑，門閥反復(fù)開啟時(shí)不會(huì)跌落導(dǎo)致密封失效。閥板關(guān)閉時(shí)，二根氣彈簧對(duì)閥板有約0.2kPa的壓力,使閥板和閥口壁緊密貼合，快速響應(yīng)真空系統(tǒng)抽氣工作。

2. 結(jié)構(gòu)緊湊，維修方便，加工制造方便，成本低。閥板窄，體積小，開啟時(shí)的動(dòng)作幅度不影響設(shè)備的其他工藝步驟，打開位置方便工件進(jìn)、出真空室。閥板旋轉(zhuǎn)靠合頁的約束，合頁6中轉(zhuǎn)軸在合頁下部固定件內(nèi)部不易損壞及跌落，經(jīng)久耐用。

3. 帶彈簧氣缸，閥板打開后停止位置固定，可靠，不影響基片出入動(dòng)作，無需外接氣源及其他動(dòng)力。閥板由兩根彈簧氣缸支撐或壓制。當(dāng)閥板打開時(shí)此兩根彈簧氣缸把閥板支撐在閥口上方，當(dāng)門閥關(guān)閉時(shí)此兩根彈簧氣缸給閥板持續(xù)的壓制力。

4. 耐高溫，真空室內(nèi)部有高溫加熱工藝，閥門長期使用溫度甚至超過400℃，若沒有降溫措施，密封件會(huì)過早老化失去彈性，從而失去密封性能；閥板上周邊嵌入的冷卻水管1可使閥板保持溫度不超過50℃，密封圈即便是普通的丁腈橡膠材質(zhì)都可以滿足此溫度要求。閥板嵌入槽配合冷卻管1外形尺寸，用鉚制加釬焊的工藝使閥板與冷卻管1貼合緊密，熱傳導(dǎo)性能良好。

5. 透視觀察窗功能，閥板上的兩個(gè)觀察窗4可最大限度的在設(shè)備運(yùn)行時(shí)實(shí)時(shí)觀察真空室內(nèi)情況。

本實(shí)用新型集多種功能于一體，為真空設(shè)備提供了一個(gè)較佳的開關(guān)進(jìn)、出口閥門。它主要是應(yīng)用于真空玻璃生產(chǎn)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-冷卻水管，2-閥板，3-氣缸，4-觀察窗，5-拉手，6-合頁，7-固定合頁，8-閥門。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。

實(shí)施例1，參閱圖1，本實(shí)用新型包括閥門8、閥板2、氣缸3和拉手5，所述閥門8安裝在多功能真空設(shè)備上，閥門8上設(shè)有閥板2，所述閥板2中間設(shè)有安裝拉手5，所述氣缸3一端連接閥板2，另一端連接閥門8。通過控制拉手5，來進(jìn)行閥板2的開啟或閉合動(dòng)作，氣缸3與閥板2連接，使閥板2毫不費(fèi)勁的進(jìn)行工作動(dòng)作。

實(shí)施例2，參閱圖1，本實(shí)用新型也可閥板2上安裝有合頁6，所述合頁6與氣缸3鉸接，氣缸3另一端與閥門8上的固定合頁7鉸接。通過閥板2上的合頁6鉸接氣缸3，使閥板2活動(dòng)更加靈活。其余同本實(shí)用新型的其它任一實(shí)施例或2個(gè)以上實(shí)施例的組合。

實(shí)施例3，參閱圖1，本實(shí)用新型還可合頁6中轉(zhuǎn)軸在合頁下部固定件內(nèi)部。使合頁6不易損壞及跌落，經(jīng)久耐用。其余同本實(shí)用新型的其它任一實(shí)施例或2個(gè)以上實(shí)施例的組合。