[實用新型]蝕刻設備及其蝕刻裝置有效
| 申請號： | 201620835149.6 | 申請日： | 2016-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN205881882U | 公開（公告）日： | 2017-01-11 |
| 發明（設計）人： | 申請（專利權）人： | ||
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方達知識產權事務所(普通合伙)44314 | 代理人： | 張約宗 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蝕刻 設備 及其 裝置 | ||
【權利要求書】：
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