[實用新型]廢光刻膠回收再生系統有效
| 申請號： | 201620807404.6 | 申請日： | 2016-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN205982984U | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 羅文烽 | 申請（專利權）人： | 羅文烽 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 杭州浙科專利事務所(普通合伙)33213 | 代理人： | 沈淵琪 |
| 地址： | 中國臺灣新北*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 回收 再生 系統 | ||
【權利要求書】：
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