[實用新型]一種監(jiān)測通孔偏移的測試結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620794529.X | 申請日： | 2016-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN205845946U | 公開（公告）日： | 2016-12-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王志娟;宋永梁;楊莉娟 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 監(jiān)測 偏移 測試 結(jié)構(gòu) | ||
【說明書】：
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