[實用新型]磁控濺射陰極座的磁場移動調節裝置及真空鍍膜設備有效
| 申請號： | 201620785714.2 | 申請日： | 2016-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN205803585U | 公開（公告）日： | 2016-12-14 |
| 發明（設計）人： | 陳軼 | 申請（專利權）人： | 昆山迅立光電設備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 215300 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磁控濺射 陰極 磁場 移動 調節 裝置 真空鍍膜 設備 | ||
【權利要求書】：
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