[實(shí)用新型]半導(dǎo)體制程廢氣燒結(jié)反應(yīng)后捕捉生成物的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620784344.0 | 申請日： | 2016-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN205925284U | 公開（公告）日： | 2017-02-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馮五裕 | 申請（專利權(quán)）人： | 東服企業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D47/06 | 分類號： | B01D47/06;B01D53/14 |
| 代理公司： | 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11139 | 代理人： | 孫皓晨 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 廢氣 燒結(jié) 反應(yīng) 捕捉 生成物 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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