[實用新型]一種用于激光直寫曝光機的高功率紫外半導體激光器有效
| 申請號： | 201620782265.6 | 申請日： | 2016-07-22 |
| 公開（公告）號： | CN205910495U | 公開（公告）日： | 2017-01-25 |
| 發明（設計）人： | 張寬 | 申請（專利權）人： | 合肥芯碁微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01S5/40 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務所34115 | 代理人： | 張祥騫,奚華保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新區*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 激光 曝光 功率 紫外 半導體激光器 | ||
【說明書】：
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