[實(shí)用新型]一種晶圓超凈空間隔離盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620776658.6
• 申請(qǐng)日: 2016-07-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206574692U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 童明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 童明
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司32200
• 代理人: 張惠忠

1.一種晶圓超凈空間隔離盒，包括盒體，所述盒體的底部設(shè)有底座，所述的底座上設(shè)有凸起的中心圓座，沿中心圓座的徑向兩側(cè)延伸出支腳，支腳尾部設(shè)有圓柱體，其特征在于：所述的圓柱體可旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓超凈空間隔離盒，其特征在于：所述的盒體上側(cè)壁設(shè)有提取把手。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓超凈空間隔離盒，其特征在于：所述的把手包括扣架，把柄，防滑孔；所述的扣架的兩端設(shè)有卡扣，扣架的架身上設(shè)有把柄，把柄內(nèi)設(shè)有防滑孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓超凈空間隔離盒，其特征在于：所述的底座的中心圓座的可旋轉(zhuǎn)圓柱體由PEEK材質(zhì)制成。