[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散源瓶

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620772589.1
• 申請(qǐng)日: 2016-07-21
• 公開（公告）號(hào): CN206266747U
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 晏文春;黨繼東;鄭旭然;劉東旭;李棟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B31/16
• 分類號(hào): C30B31/16
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英,林波

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散源瓶。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)工藝中，包括擴(kuò)散工序，即：在P型硅的表面上滲透一層很薄的磷層，使該表面變成N型，成為PN結(jié)。其基本原理是通過(guò)氣體(通常選用氮?dú)?攜帶三氯氧磷(POCl₃)溶液進(jìn)入擴(kuò)散爐管，使之反應(yīng)生成磷沉淀在表層，磷在高溫下滲透入硅片內(nèi)部從而形成N區(qū)。

現(xiàn)有的用于裝載三氯氧磷(POCl₃)溶液的擴(kuò)散源瓶如圖1所示，包括源瓶本體1′，源瓶本體1′的上端布置有進(jìn)氣管2′和出氣管3′，進(jìn)氣管2′一般伸入到源瓶本體1′的底部，氣體通過(guò)進(jìn)氣管2′進(jìn)入溶液中形成氣泡，氣泡在上升的過(guò)程中攜帶POCl₃的蒸氣分子，脫離液面后，POCl₃的蒸氣分子經(jīng)過(guò)出氣管進(jìn)入擴(kuò)散爐管，在進(jìn)氣管2′和出氣管3′上還設(shè)置有閥門4′。為了使得氣泡容易攜帶POCl₃的蒸氣分子，氣泡在溶液中需要較長(zhǎng)的行程，因此進(jìn)氣管2′會(huì)比較接近瓶底，且位于進(jìn)氣管2′底部的溶液無(wú)法通過(guò)氣泡帶入到出氣管3′中，因此，為避免浪費(fèi)，進(jìn)氣管2′會(huì)盡量靠近瓶底。在實(shí)際使用過(guò)程中，進(jìn)氣管2′和出氣管3′與源瓶本體1′上的進(jìn)氣口和出氣口的連接關(guān)系不能出錯(cuò)，一旦接錯(cuò)后，會(huì)導(dǎo)致氣體從出氣管3′中進(jìn)入，將溶液直接壓入進(jìn)氣管2′，對(duì)操作人員造成危險(xiǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提出一種擴(kuò)散源瓶，進(jìn)氣管和出氣管只需要分別與源瓶本體上的兩個(gè)通氣孔連接即可，不存在連接出錯(cuò)的問(wèn)題，避免了危險(xiǎn)。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種擴(kuò)散源瓶，包括源瓶本體，所述源瓶本體的相對(duì)的兩端均開設(shè)有通氣孔，一端的所述通氣孔連接進(jìn)氣管，另一端的所述通氣孔連接出氣管，工作時(shí)，所述出氣管連接的所述通氣孔位于上端，所述進(jìn)氣管連接的所述通氣孔位于下端。

其中，所述源瓶本體的兩端的所述通氣孔對(duì)稱設(shè)置。

其中，兩個(gè)所述通氣孔分別設(shè)置在源瓶本體的頂面和底面。

其中，所述源瓶本體的兩端的所述通氣孔到所述源瓶本體的中部均形成橫截面逐漸變大的漏斗形結(jié)構(gòu)。

其中，所述漏斗形結(jié)構(gòu)的圓錐角為60°到75°。

其中，所述漏斗形結(jié)構(gòu)的圓錐角為60°。

其中，所述源瓶本體的兩端的所述漏斗形結(jié)構(gòu)對(duì)稱設(shè)置。

其中，兩個(gè)所述通氣孔分別設(shè)置于所述源瓶本體的相對(duì)的兩側(cè)，且一個(gè)所述通氣孔靠近所述源瓶本體頂面設(shè)置，另一個(gè)所述通氣孔靠近所述源瓶本體的底面設(shè)置。

其中，所述源瓶本體的頂面的內(nèi)側(cè)和底面的內(nèi)側(cè)均設(shè)置為斜面，所述頂面的所述斜面的頂端與相應(yīng)側(cè)的所述通氣孔連通，所述底面的所述斜面的底端與相應(yīng)側(cè)的所述通氣孔連通。

其中，所述進(jìn)氣管和出氣管上均設(shè)置有閥門。

有益效果：本實(shí)用新型提供了一種擴(kuò)散源瓶，包括源瓶本體，所述源瓶本體的相對(duì)的兩端均開設(shè)有通氣孔，一端的通氣孔連接進(jìn)氣管，另一端的通氣孔連接出氣管，工作時(shí)，所述出氣管連接的通氣孔的位于上端，所述進(jìn)氣管連接的通氣孔位于下端。在實(shí)際使用的時(shí)候，不需要區(qū)分進(jìn)氣管和出氣管與源瓶本體上的通氣孔的連接關(guān)系，直接將進(jìn)氣管和出氣管分別連接在源瓶本體的兩端的通氣孔上，再放置源瓶本體，使得與進(jìn)氣管連接的通氣孔位于下端，與出氣管連接的通氣孔位于上端即可，使用方便，不存在連接出錯(cuò)的問(wèn)題，避免了危險(xiǎn)，且進(jìn)氣管和出氣管都直接連接在通氣孔的外部，不需要伸入到源瓶本體中，氣體直接從源瓶本體的底端的通氣孔直接進(jìn)入溶液中，能最大限度的利用溶液，減少浪費(fèi)。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)的擴(kuò)散源瓶的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的實(shí)施例1提供的擴(kuò)散源瓶的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型的實(shí)施例2提供的擴(kuò)散源瓶的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：

1-源瓶本體，2-通氣孔，3-進(jìn)氣管，4-出氣管，5-漏斗形結(jié)構(gòu)，6-閥門，7-斜面，1′-源瓶本體，2′-進(jìn)氣管，3′-出氣管，5′-閥門。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題、采用的技術(shù)方案和達(dá)到的技術(shù)效果更加清楚，下面結(jié)合附圖并通過(guò)具體實(shí)施方式來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。

實(shí)施例1