[實用新型]一種雙室磁控濺射電子束鍍膜機有效
| 申請號： | 201620762959.3 | 申請日： | 2016-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN205803589U | 公開（公告）日： | 2016-12-14 |
| 發明（設計）人： | 何吉剛;馬寧;王小軍;蔣冰霜;魏瓊林;蒙志林;冉從軍 | 申請（專利權）人： | 成都中科唯實儀器有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知識產權代理有限公司11340 | 代理人： | 楊春 |
| 地址： | 610041 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁控濺射 電子束 鍍膜 | ||
【說明書】：
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