[實用新型]一種回收光刻膠過濾裝置有效
| 申請號： | 201620753116.7 | 申請日： | 2016-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN205844742U | 公開（公告）日： | 2016-12-28 |
| 發明（設計）人： | 張誠;李偉;徐根;李翼;周學文 | 申請（專利權）人： | 湖南普照信息材料有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/26 | 分類號： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 長沙楚為知識產權代理事務所(普通合伙)43217 | 代理人： | 李大為;于海東 |
| 地址： | 410000 湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 回收 光刻 過濾 裝置 | ||
【權利要求書】：
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