[實用新型]一種高精度雙層納米光柵三軸加速度檢測裝置有效
| 申請號： | 201620752175.2 | 申請日： | 2016-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN205982318U | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 李孟委;王賓;薛梅;王高 | 申請（專利權）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | G01P15/093 | 分類號： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 北京金智普華知識產權代理有限公司11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 030051*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高精度 雙層 納米 光柵 加速度 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
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