[實用新型]一種智能真空度控制系統有效
| 申請號： | 201620752129.2 | 申請日： | 2016-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN205741203U | 公開（公告）日： | 2016-11-30 |
| 發明（設計）人： | 徐海呈;張勇;于有河 | 申請（專利權）人： | 大連維鈦克科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/54 | 分類號： | C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 116113 遼寧省*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 智能 真空 控制系統 | ||
【說明書】：
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