[實用新型]一種半導體烘箱

有效

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• 申請日: 2016-07-14
• 公開（公告）號: CN206122109U
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發(fā)明（設計）人: 汪良美;汪都;楊華
• 申請（專利權）人: 安徽安美半導體有限公司
• 主分類號: B05D3/02
• 分類號: B05D3/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所31210
• 代理人: 章登亞

技術領域

本實用新型涉及半導體制造設備領域，特別是涉及一種半導體烘箱。

背景技術

半導體材料經過封裝以后，烘箱對材料起到固化作用，操作人員對材料進行固化，在烘烤時需要打開電機鼓風、加熱方可烘材料，在此烘烤需要8小時，在此過程中電機一直在運轉加熱器不停的加溫，這期間如果出現(xiàn)電機損壞就會出現(xiàn)材料烘烤不均勻，材料良率下降，如果出現(xiàn)加熱器加溫不正常里面的溫度達不到材料也會出現(xiàn)良率下降，產線IPQC在巡檢過程中不一定會發(fā)現(xiàn)這些問題，而且在后續(xù)生產環(huán)節(jié)中還嚴重影響IPQC工作進度，質量及良率下降。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題在于克服現(xiàn)有技術的缺陷，提供一種半導體烘箱，可對烘箱使用過程中發(fā)生的故障及時發(fā)出警報，使操作人員能第一時間進行修復，挽回損失或是增加工作效率。

本實用新型的技術方案：

一種半導體烘箱，包括箱體、風機、加熱模塊，所述箱體內設有內膽，風機由電機、扇葉組成，所述電機的電路上設置一個電流傳感器，電流傳感器連接到控制器上，控制器連接安裝第一蜂鳴器，所述內膽內設置一個溫度傳感器，溫度傳感器連接到溫控器上，溫控器上連接安裝第二蜂鳴器。

進一步地，所述電流傳感器為電磁式電流互感器。

進一步地，所述第一蜂鳴器和第二蜂鳴器所發(fā)出的聲音不同。

進一步地，所述溫控器上設有時間繼電器。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型通過在風機的電路上和內膽內分別增設電流傳感器和溫度傳感器，以及在傳感器上分別連接控制器和蜂鳴器，當風機的電機發(fā)生故障，電流傳感器感應電流變化，傳遞信號給控制器，控制器控制蜂鳴器發(fā)出警報，當加熱模塊發(fā)生故障，內膽內的溫度降低或是升高，超出溫控器設置的溫度，此時溫度傳感器傳遞信號給溫控器，溫控器控制蜂鳴器發(fā)出警報，提醒工作人員及時進行維修挽回損失或是直接加工下一批，增加工作效率。本實用新型結構簡單，安裝方便，制造成本低，效果突出，能及時有效的最大程度的挽回損失，另在損失無法挽回的情況下，節(jié)省時間重新烘烤下一批，且減少后續(xù)檢驗中不必要的工作，增加工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內容之后，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。

實施例1：

一種半導體烘箱，如圖1所示，包括箱體1、風機2、加熱模塊3，所述箱體1內設有內膽11，風機2由電機21、扇葉22組成，所述電機21的電路上設置一個電流傳感器23，電流傳感器23連接到控制器24上，控制器24連接安裝第一蜂鳴器25，所述內膽11內設置一個溫度傳感器12，溫度傳感器12連接到溫控器13上，溫控器13上連接安裝第二蜂鳴器14。

進一步地，所述電流傳感器23為電磁式電流互感器。

進一步地，所述第一蜂鳴器25和第二蜂鳴器14所發(fā)出的聲音不同。

進一步地，所述溫控器12上設有時間繼電器。

本實用新型通過在風機的電路上和內膽內分別增設電流傳感器和溫度傳感器，以及在傳感器上分別連接控制器和蜂鳴器，當風機的電機發(fā)生故障，電流傳感器感應電流變化，傳遞信號給控制器，控制器控制蜂鳴器發(fā)出警報，當加熱模塊發(fā)生故障，內膽內的溫度降低或是升高，超出溫控器設置的溫度，此時溫度傳感器傳遞信號給溫控器，溫控器控制蜂鳴器發(fā)出警報，提醒工作人員及時進行維修挽回損失或是直接加工下一批，增加工作效率。本實用新型結構簡單，安裝方便，制造成本低，效果突出，能及時有效的最大程度的挽回損失，另在損失無法挽回的情況下，節(jié)省時間重新烘烤下一批，且減少后續(xù)檢驗中不必要的工作，增加工作效率。