[實(shí)用新型]集成溫濕度傳感器的硅基氣體敏感芯片有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201620737570.3 | 申請(qǐng)日： | 2016-07-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN205785343U | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王成楊;金建東;李玉玲;丁文波;齊虹;田雷;王明偉;夏露;鄭麗;王亞彬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十九研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01D21/02 | 分類號(hào)： | G01D21/02;G01N27/12 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國(guó)省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成 溫濕度 傳感器 氣體 敏感 芯片 | ||
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