[實用新型]一種單晶爐

有效

• 申請號: 201620725534.5
• 申請日: 2016-07-11
• 公開（公告）號: CN206902281U
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 陳五奎;劉強;付紅霞;黃振華;馮加保
• 申請（專利權）人: 青海拓日新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232
• 代理人: 李玉興

1.一種單晶爐，包括爐體(1)，所述爐體(1)內部設有石墨坩堝(2)，所述石墨坩堝(2)底部通過坩堝軸(3)與爐體(1)底部相固定，所述石墨坩堝(2)內設有石英坩堝(4)，石墨坩堝(2)外側設置有側部加熱器(5)，所述爐體(1)側壁上設置有抽氣孔(6)，還包括氬氣管(7)與氬氣源(15)，所述氬氣源(15)與氬氣管(7)通過進氣管(14)相連，所述氬氣管(7)的末端穿過爐體(1)伸入到石英坩堝(4)內，其特征在于：所述進氣管(14)上設置有氣體預熱裝置(16)，所述氣體預熱裝置(16)包括密閉的空腔(161)，所述空腔(161)內設置有換熱管(162)，所述換熱管(162)的兩端分別延伸至空腔(161)外并與進氣管(14)連通，所述氬氣源(15)內的氬氣依次沿進氣管(14)、換熱管(162)、氬氣管(7)流入石英坩堝(4)內，所述換熱管(162)與空腔(161)的連接處密封，所述空腔(161)上連接有引氣管(163)與排氣管(164)，所述引氣管(163)的一端與爐體(1)上設置的抽氣孔(6)連通，引氣管(163)的另一端與空腔(161)內部連通，所述引氣管(163)上設置有抽氣泵(165)，所述排氣管(164)與空腔(161)內部連通。

2.如權利要求1所述的單晶爐，其特征在于：所述換熱管(162)為金屬盤管。

3.如權利要求2所述的單晶爐，其特征在于：所述換熱管(162)采用銅管制作而成。

4.如權利要求3所述的單晶爐，其特征在于：所述爐體(1)內設置有保溫筒(12)，石墨坩堝(2)、石英坩堝(4)、側部加熱器(5)、均位于保溫筒(12)內。

5.如權利要求4所述的單晶爐，其特征在于：所述爐體(1)與保溫筒(12)之間設置有保溫氈(13)。

6.如權利要求5所述的單晶爐，其特征在于：所述保溫筒(12)的內壁上涂有熱輻射反射層(17)。