[實用新型]定位安裝裝置有效
| 申請號： | 201620713851.5 | 申請日： | 2016-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN205810757U | 公開（公告）日： | 2016-12-14 |
| 發明（設計）人： | 戴一然 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 100176 北京市大興*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 定位 安裝 裝置 | ||
【權利要求書】：
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