[實用新型]一種用于單晶硅生產中的摻雜裝置有效
| 申請號： | 201620692986.8 | 申請日： | 2016-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN205907387U | 公開（公告）日： | 2017-01-25 |
| 發明（設計）人： | 華平壤;姜城 | 申請（專利權）人： | 派尼爾科技（天津）有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/04 | 分類號： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 300000 天津市濱海新區開發*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 單晶硅 生產 中的 摻雜 裝置 | ||
【說明書】：
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